烟台新风系统净化工程的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。
新风空调箱除了要保证外界大气经过其中的初、中和高效过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以保证送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以保证满足半导体工艺的温湿度需求。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致净化工程内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多（基本在3－5倍之间），因此必须在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，要好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高净化工程温湿度控制的稳定性。
